ÍõÐÀÑó½éÉܳ¤¹â³½Ð¾ÃæÏò¸ß¶Ë×°±¸CMOSͼÏñ´«¸ÐÆ÷оƬÑз¢¼°Êг¡Ó¦ÓÃÇé¿ö¡£¡¡Ëï×Ô·¨¡¡Éã
¡¡¡¡ÖÐÐÂÍø³¤´º12ÔÂ30ÈÕµç (¼ÇÕß Ëï×Ô·¨)´ÓС¿×³ÉÏñÔÀíµ½½º¾í³åÏ´¡¢´ÓCCD(µçºÉñîºÏÆ÷¼þ)µ½CMOS(»¥²¹½ðÊôÑõ»¯Îï°ëµ¼Ìå)£¬Ëæ×ſƼ¼²»¶Ï½ø²½£¬³ÉÏñ¼¼ÊõÈç½ñÒÑ·¢Õ¹µ½¡°Ïñ¡±ÓÉ¡°Ð¾¡±Éú½×¶Î¡ª¡ªCMOSͼÏñ´«¸ÐÆ÷оƬƾ½èµÍÔëÉù¡¢¸ßÁéÃô¶È¡¢¸ß¼¯³É¶È¡¢Êý×Ö»¯Êä³öµÈÓÅÊÆ£¬³ÉΪĿǰ¿É¼û¹â³ÉÏñÁìÓòÖ÷Á÷µÄ³ÉÏñÆ÷¼þ¡£
¡¡¡¡Öйú¶ÔÓÚCMOSͼÏñ´«¸ÐÆ÷оƬÐèÇóÁ¿¾ÓÊÀ½çµÚÒ»£¬µ«ÊÇÔÚ¹¤Òµ¼ì²â¡¢ÉúÃü¿ÆÑ§¡¢ÌìÎÄ¡¢¹ãµçµÈ¸ß¶Ë×°±¸ÖÆÔìÁìÓòʹÓõÄͼÏñ´«¸ÐÆ÷оƬ¼¸ºõÈ«²¿À´×Ô½ø¿Ú¡£
¡¡¡¡Îª´òÆÆÕâÒ»³ÉÏñ¼¼ÊõÁìÓò·¢Õ¹ÊÜÖÆÓÚÈ˵Äèäèô£¬ÓÐÐÂÖйú¡°¹âѧµÄÒ¡Àº¡±Ö®ÓþµÄÖйú¿ÆÑ§Ôº³¤´º¹âѧ¾«ÃÜ»úеÓëÎïÀíÑо¿Ëù(ÖпÆÔº³¤´º¹â»úËù)£¬ÓÚ2012Äêͨ¹ý´ÓÅ·ÖÞÒý½øCMOSÑз¢ÍŶӳÉÁ¢³¤´º³¤¹â³½Ð¾¹âµç¼¼ÊõÓÐÏÞ¹«Ë¾(³¤¹â³½Ð¾)£¬È«Á¦Ñз¢Ò»Åú¾ßÓÐ×ÔÖ÷֪ʶ²úȨ¡¢¾ß±¸²úÒµ»¯Ó¦ÓÃÌõ¼þµÄ¸ßÐÔÄÜCMOSͼÏñ´«¸ÐÆ÷Æ÷¼þ£¬ÒÔÂú×ã¸ß¶Ë×°±¸ÖÆÔìÁìÓò¶ÔCMOSͼÏñ´«¸ÐÆ÷ÖØ´óÓ¦ÓõÄÐèÇó¡£
¡¡¡¡ÊµÏÖËÄ´óϵÁÐCMOSÑз¢¼°²úÒµ»¯ÄÜÁ¦
¡¡¡¡8ÄêÀ´£¬³¤¹â³½Ð¾ÔÚCMOSͼÏñ´«¸ÐÆ÷оƬÁìÓòÑз¢½øÕ¹ÈçºÎ£¿³¤¹â³½Ð¾×ܾÀíÍõÐÀÑó½üÈÕ½ÓÊÜýÌå²É·Ãʱ½éÉÜ˵£¬Èç¹û½«Ïà»ú¡¢ÉãÏñ»ú±È×÷ÑÛ¾¦£¬ÄÇôCMOSͼÏñ´«¸ÐÆ÷оƬ¾ÍÊÇÊÓÍøÄ¤£¬¶Ô¸ßÖʸßЧ³ÉÏñÖÁ¹ØÖØÒª¡£
¡¡¡¡³¤¹â³½Ð¾Í¨¹ý¶àÄêÑз¢£¬ÏÖÒѹ¥¿ËÁ˵ÍÔëÉùÈ«¾Ö¿ìÃÅÏñËØÉè¼Æ¡¢±³ÕÕʽоƬ¼¼ÊõµÈ¶àÏîºËÐļ¼Êõ£¬²¢ÊµÏÖËÄ´óϵÁÐCMOSͼÏñ´«¸ÐÆ÷µÄÑз¢¼°²úÒµ»¯ÄÜÁ¦£º
¡¡¡¡¸ß·Ö±æÂÊ´ó°ÐÃæ(GMAX)ϵÁÐCMOSͼÏñ´«¸ÐÆ÷¾ßÓи߷ֱæÂÊ¡¢È«¾Ö¿ìÃŵÈÌØµã£¬¿É¹ã·ºÓ¦ÓÃÓÚÆ½°åÏÔʾÆ÷¼ì²â¡¢°ëµ¼Ìå¼ì²â¡¢¹¤³§×Ô¶¯»¯¼ì²âµÈ¸ß·Ö±æÂʹ¤Òµ¼ì²âÁìÓò£¬È«ÃæÂú×ã¶Ô¶¯Ì¬Ä¿±ê¸ßÇå³ÉÏñµÄÓ¦ÓÃÐèÇó¡£
¡¡¡¡¸ßÁéÃô¶ÈµÍÔëÉù(GSENSE)ϵÁÐCMOSͼÏñ´«¸ÐÆ÷¾ßÓиßÁéÃô¶È¡¢µÍÔëÉù¡¢¸ß¶¯Ì¬·¶Î§µÈÌØµã£¬ÆäÃæÏò¸ß¶Ë¿ÆÑ§³ÉÏñÓ¦Óöø¿ª·¢£¬Ö÷ÒªÓ¦ÓÃÓÚÉúÃü¿ÆÑ§¡¢Ò½ÁƳÉÏñ¡¢¹âÆ×ѧ¡¢Ó«¹â³ÉÏñ¡¢ÌìÎÄѧ¡¢¸ßÄÜÎïÀíºÍÈíXÉäÏßµÈÁìÓò£¬¿ÉÈ«ÃæÂú×ã¶Ô΢¹âÄ¿±êÓÐЧ³ÉÏñµÄÓ¦ÓÃÐèÇó¡£
¡¡¡¡¸ßËÙÏßÕó(GL)ϵÁÐCMOSͼÏñ´«¸ÐÆ÷£¬¾ßÓиßËÙ¡¢µÍÔëÉù¡¢Ê±¼äÑÓ³Ù»ý·Ö¹¤×÷ģʽµÈÌØµã£¬Æä·Ö±æÂÊ´Ó2Kµ½32K²»µÈ£¬ÄÜÂú×ã¸÷ÁìÓò¶Ôϵͳ³ÉÏñËÙ¶ÈÌáÉýµÄÐèÇ󣬿ÉÓÃÓÚӡˢƷ¼ì²â¡¢±êÇ©¼ì²â¡¢Í¸Ã÷²ÄÁϼì²âµÈÁìÓò£¬È«ÃæÂú×ã¶ÔÄ¿±ê¸ßËÙÍÆÉ¨³ÉÏñµÄÓ¦ÓÃÐèÇó¡£
¡¡¡¡¸ßËÙÃæÕó(GSPRINT)ϵÁÐCMOSͼÏñ´«¸ÐÆ÷£¬¾ßÓиß֡Ƶ¡¢µÍÔëÉùÒÔ¼°¸ß¶¯Ì¬·¶Î§µÈÌØµã£¬ÆäÃæÏò¸ßËÙ³ÉÏñÓ¦ÓöøÑз¢£¬¿ÉÒÔ½øÒ»²½ÍØ¿í¸ßËÙ¡¢¸ßÐÔÄܳÉÏñÓ¦ÓÃÁìÓò¡£Ê¹Æä³ÉΪ4K¸ßËÙÉãÓ°¡¢¹¤ÒµAOI¡¢Ô˶¯²¶×½µÈÓ¦ÓõÄÀíÏëÑ¡Ôñ¡£
¡¡¡¡ÍõÐÀÑó͸¶£¬³¤¹â³½Ð¾ÕâËÄ´óϵÁÐCMOSÍ b68 ¼Ïñ´«¸ÐÆ÷²úÆ·ÏÖÓÐÖÐÍâÓû§³¬¹ý200¼Ò£¬º¸ÇÉúÎï¡¢ÌìÎÄ¡¢¹¤Òµ¡¢Ò½ÁÆ¡¢µç¾µ¡¢3D³ÉÏñµÈ¶à¸öÁìÓò¡£
¡¡¡¡´ø¶¯ÖйúCMOSÉÏÏÂÓβúÒµ¿ìËÙ·¢Õ¹
¡¡¡¡ÍõÐÀÑóÖ¸³ö£¬ÃæÏò¸ß¶Ë×°±¸ÖÆÔìÁìÓòÍÆ½øCMOSͼÏñ´«¸ÐÆ÷Ñз¢¼°²úÒµ»¯£¬»¹¿ÉÒÔ´ø¶¯ÖйúCMOSÏà¹ØÉÏÏÂÓβúÒµµÄ¿ìËÙ·¢Õ¹£¬°üÀ¨¾§Ô²¼Ó¹¤¡¢ÌÕ´É·â×°¿Ç¡¢²£Á§¸ÇƬµÈͼÏñ´«¸ÐÆ÷Éú²ú²úÒµºÍ¹âѧ¾µÍ·¡¢ºó±³ÏµÍ³ºÍͼÏñ´¦ÀíµÈÖ§³Å²úÒµÐͬ·¢Õ¹¡£
¡¡¡¡ÔÚ³¤¹â³½Ð¾CMOSͼÏñ´«¸ÐÆ÷Ñз¢¼°²úÒµ»¯´ø¶¯Ï£¬Öйú¹úÄÚ¹¤ÒµÏà»úÁì¾üÆóÒµÒÑÓ¦Óó¤¹â³½Ð¾³É¹ûת»¯µÄÈ«¾Ö¿ìÃÅCMOSϵÁÐоƬ£¬³É¹¦¿ª·¢³öһϵÁй¤Òµ¼ì²âÏà»ú²úÆ·£¬²¢ÒÑÔÚ¹¤Òµ¼ì²â¡¢¿ìµÝɨÃè¡¢»úÆ÷ÊÓ¾õµÈ¶à¸öÁìÓòʵÏֹ㷺ӦÓá£
¡¡¡¡Óë´Ëͬʱ£¬ÖпÆÔº³¤´º¹â»úËù»¹ÁªºÏ¼ªÁÖÊ¡¡¢³¤´ºÊеȹ²Í¬¿ªÕ¹CMOSÏà»ú²úÒµÔ°½¨É裬ͨ¹ýÒÀÍвúÒµÔ°ÍêÉÆµÄCMOSÏà»ú²úÒµÉú̬Ȧ£¬ÐγɲúÒµ¼¯ÈºÐ§Ó¦£¬´ø¶¯ÖйúCMOSÉÏ¡¢ÏÂÓβúÒµµÄ¿ìËÙ·¢Õ¹¡£
¡¡¡¡´òÔìÃæÏò¸ß¶Ë×°±¸CMOS¡°ÖйúÃûƬ¡±
¡¡¡¡ÍõÐÀÑó±íʾ£¬ÔÚ³ÖÐøÍÆ½øCMOSÑз¢»ù´¡ÉÏ£¬³¤¹â³½Ð¾Á¢×ãÖйúÃæÏòÈ«Çò£¬½¨Á¢ÆðÅÓ´óµÄÊг¡ÓªÏúÍøÂ磺2015ÄêÔÚÈÕ±¾³ÉÁ¢È«×Ê×Ó¹«Ë¾£»2018ÄêÔÚ±ÈÀûʱ³ÉÁ¢¿Ø¹É×Ó¹«Ë¾£»2020ÄêÔÚº¼ÖݳÉÁ¢È«×Ê×Ó¹«Ë¾£¬×÷ΪÆäеÄÑз¢ÖÐÐÄ£¬Ö÷Òª´ÓÊÂCMOSͼÏñ´«¸ÐÆ÷Éè¼ÆÑз¢¼°ÏúÊÛ¡£
¡¡¡¡Õ¹ÍûδÀ´£¬ÕâλÖйúCMOSÁìÓòÇàÄê¿Æ¼¼Ë§²ÅÐÅÐÄÂú»³£¬Ëû˵£¬³¤¹â³½Ð¾ºóÐø½«»á¸üÉî²ã´Î¿ªÕ¹¸ßÐÔÄÜ¡¢¸ß¼¯³É¶È¡¢ÖÇÄÜ»¯µÄCMOSͼÏñ´«¸ÐÆ÷µÄÑÐÖÆ£¬ÖúÁ¦Öйú¸ß¶Ë×°±¸ÖÆÔìÁìÓòµÄ¿ìËÙ·¢Õ¹¡£Í¬Ê±£¬Ò²½«½øÒ»²½¿ªÍغ£ÍâÓªÏúÊг¡£¬´òÔìÃæÏò¸ß¶Ë×°±¸µÄCMOSͼÏñ´«¸ÐÆ÷¡°ÖйúÃûƬ¡±¡£
¡¡¡¡È«ÃæÊµÏÖºë¹âרÏîCMOSÏîĿԤÆÚÄ¿±ê
¡¡¡¡×÷Ϊ³É³¤ÖеĿƴ´ÆóÒµ£¬³¤¹â³½Ð¾·¢Õ¹µ±È»Àë²»¿ªÖпÆÔº¼°³¤´º¹â»úËùµÄ¶¦Á¦Ö§³Ö¡£ÀûÓÃ×ÔÉíÔÚ¹âѧÁìÓòµÄÐÛºñ»ù´¡ºÍ¶ÀÌØÓÅÊÆ£¬ÖпÆÔº³¤´º¹â»úËùÃé×¼¹ú¼ÒÖØ´óÕ½ÂÔÐèÇó¡¢¾Û½¹Êг¡¼¼ÊõÐèÇó£¬ÒÑ´òÔì³ö¡°¹âѧ+¡±µÄ³É¹ûת»¯¸ñ¾Ö£¬²¢½¨Á¢ÆðÒÔ¹âµç×Ó¼¼ÊõΪºËÐľºÕùÁ¦£¬Ç£Òý´ø¶¯ºËÐÄÔªÆ÷¼þ¡¢Ð²ÄÁÏÓëÓ¦Óᢸ߶Ë×°±¸ÖÆÔì¡¢³¬¸ßÇå³ÉÏñÓëÏÔʾ¡¢¼¤¹â¼¼ÊõÓëÓ¦Óá¢ÉúÃüÓ뽡¿µµÈ²úÒµ·¢Õ¹¸ñ¾Ö£¬Ä¿Ç°£¬¸ÃËùÒÑͶ×ÊÖúÁ¦³¤¹â³½Ð¾µÈºËÐĿƴ´ÆóÒµ74¼Ò£¬Äê²úÖµ´ï22ÒÚÔªÈËÃñ±Ò¡£
¡¡¡¡ÒÀÍÐÖпÆÔº¿Æ¼¼³É¹û×ªÒÆ×ª»¯ÖصãרÏî¡°ºë¹âרÏ£¬³¤¹â³½Ð¾ÓÚ2019ÄêÁ¢ÏîÆô¶¯¡°ÃæÏò¸ß¶Ë×°±¸ÖÆÔìµÄϵÁл¯CMOSͼÏñ´«¸ÐÆ÷¡±ÏîÄ¿¡£ÖпÆÔº¿Æ¼¼´Ù½ø·¢Õ¹¾Ö±íʾ£¬¡°ºë¹âרÏ¸ÃÏîĿʵʩ1ÄêÀ´ÒÑÈ«ÃæÊµÏÖÔ¤ÆÚÄ¿±ê¡£(Íê)